“高纯度含氟电子气体是极大规模集成电路行业必需的清洗和蚀刻气体,在芯片制作过程中保障极大规模集成电路的生成,确保电路有效发挥作用,而高纯度含氟电子气体对环境有较高污染,更日敦科技所生产设备很好地解决了这一污染问题。”更日敦科技销售总监张琛说。
武汉更日敦科技有限公司,位于武汉经开区启迪协信武汉科创园,致力于为半导体、LED 、TFT 、光伏及新能源等新兴产业提供处理有毒有害及温室气体的完整解决方案。利用成熟的核心技术,快速填补国内空白。
“根据国际货币基金组织测算,每1美元半导体芯片的产值可带动相关电子信息产业10美元产值,并带来100美元的GDP,这种价值链的放大效应奠定了半导体行业在国民经济中的重要地位。”张琛介绍,由于半导体设备价值普遍较高,一条制造先进半导体产品的生产线投资中设备价值约占总投资规模的75%以上,半导体产业的发展衍生出巨大的设备需求市场。
目前,更日敦科技在超过9个国家及地区拥有上百个客户,安装超过1000台设备,累计销售额超过5000万美金,合作用户包括台积电、联电、NEC、ST、TI等世界著名企业。
更日敦科技董事长郭海蓉表示,更日敦科技通过收购美国工业气体处理的龙头企业Techarmonic进入半导体设备领域,现拥有发明专利300多个,产品销售客户100多个。已完成全部技术转移,实现自主自控,是国内唯一拥有独立自主知识产权的半导体尾气处理设备的企业。
张琛介绍,目前公司技术主要应用于半导体、太阳能及TFT行业,提供包括干式、湿式及热湿式在内的完整产品线,完全覆盖生产过程中CVD、ETCH以及离子注入等制程尾气处理需求。与国内技术相比,不仅提高了半导体废气的处理率,而且设备成本较低,具有价格优势。
对于企业落户武汉经开区启迪协信武汉科创园,郭海蓉表示:“园区的服务和配套政策很吸引我,一系列的工商注册、银企对接、装修等事宜都是园区帮我们做,省了不少事。另外,园区还及时帮助我们申报各类政策补贴,对接各类资源,帮助我们一定程度上解决了武汉公司发展初期的资金问题。”
谈及企业的未来规划,郭海蓉说:“借助武汉经开区以及启迪协信武汉科创园的产业优势,将武汉公司打造成为研发销售中心。未来,企业争取用1-2年里实现对武汉及周边的半导体相关客户的设备销售,完成以武汉公司为主体的自主知识产权布局。同时,以武汉为立足点,争取用3-4年时间完成2代产品-3代产品的布局,改变国外现行品牌在行业内的主导地位,用5-6年时间,完成从设计-销售-服务等全方位的进口替代。”